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Ronchi剪切干涉仪高精度相位提取及误差分析

High-Precision Phase Extraction and Error Analysis of Ronchi Lateral Shearing Interferometry

查看更多>>作者：Chang Chunchao；Li Zhongliang；Lu Yunjun；Wang Xiangzhao
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  • 创建日期：2024-01-04
  • 发布日期：2024-01-04
  • 最新更新日期：2024-01-05
简介：
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CSTR31253.11.sciencedb.14952DOI10.57760/sciencedb.14952
关键词：干涉测量Ronchi剪切干涉相位提取波像差检测光刻投影物镜剪切率
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  • ScienceDB

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V1 在线发布2024-01-04 00:00:00
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数据使用许可

  • CC0

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  • 联系人：Li Zhongliang

    邮箱 : lizhongliang@siom.ac.cn

    联系人：Lu Yunjun

    邮箱 : luyj@siom.ac.cn

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